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    半导体产业大致可区分为半导体材料、光罩、设计、制程、封装、测试及设备等七个技术领域,皆需真空技术作为基础。

    在分析仪器上如电子显微镜、质谱仪、及高能加速器等都需要优良的真空环境。半导体技术进入六吋、八吋、十二吋晶圆时代,要制造出肉眼几乎看不见的极细金属线,需经严格控管及半导体真空系统无尘环境。

    随着信息科技产业的发展,半导体产品应用层面愈益广泛,消费性、车用及通讯用电子产品等持续发展,真空技术也随之不断创新,扩展至包括PVD、CVD镀膜制程、静电吸附盘及蚀刻制程等设备,在先进的半导体产业已占有举足轻重的地位。

    道田真空具备高科技产业的真空镀膜技术,开发制程设备广泛用于半导体IC封装产业。道田真空提供客户设计服务且加速客户开发时程,创造更佳的产品获利空间及更高的市场占有率。
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